Afbeelding 1 van 2
Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnec - Paperback NEW Hubner,
Objectstaat:
2 beschikbaar
Verzendkosten:
Bevindt zich in: PR9 8QH Southport UK, Verenigd Koninkrijk
Levering:
Varieert
Retourbeleid:
60 dagen om te retourneren. Koper betaalt voor retourzending. Details bekijken- voor meer informatie over retourzendingen
Betalingen:
Winkel met vertrouwen
Verkopergegevens
- 98,3% positive feedback
Ingeschreven als zakelijke verkoper
De verkoper neemt de volledige verantwoordelijkheid voor deze aanbieding.
eBay-objectnummer:353262756909
Specificaties
- Objectstaat
- Weight
- 214grams
- Subjects
- Nonfiction, Technology & Engineering, Electronics,
- Pages
- 102
- Size
- 15.3 x 22.7 x 0.8 centimetres (0
- Subject
- Engineering
- Book Title
- Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects. Ren H
- Publication Date
- 10/09/2008
- ISBN
- 9781604564518
- Publication Year
- 2009
- Type
- Textbook
- Format
- Paperback
- Subject Area
- Material Science
- Language
- English
- Publication Name
- Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects
- Item Height
- 155mm
- Publisher
- NOVA Science Publishers INC International Concepts
- Item Width
- 230mm
- Item Weight
- 184g
- Number of Pages
- 102 Pages
Over dit product
Product Information
During the last few years, copper has become the standard metallisation material for on-chip interconnects in high-performance microprocessors. Compared to the previously used aluminium, copper shows not only a lower resistivity, but also significantly improved electromigration resistance. Copper ions, however, are very mobile in silicon and many dielectric materials under electrical and thermal bias. Thus, barrier layers are needed to prevent Cu diffusion into the insulating layers surrounding the metallic interconnects. Since Ta-based compounds are characterized by a high thermal stability, pure Ta films or layer stacks consisting of Ta and TaN are used for such barriers. The continuous scaling down of the interconnect dimensions and, therefore, the essential decrease in the barrier layer thickness coupled with the replacement of silicon oxide by advanced low-k dielectrics demand further improvements of the diffusion barrier performance. It is the aim of this book to carry out microstructure and functional property investigations for advanced, high-performance Tabased diffusion barriers (Ta-TaN layer stacks and Ta-Si-N single layers) before and after annealing to compare their thermal stabilities and to probe the corresponding failure mechanisms. For the Ta-TaN barriers, these studies are undertaken for a range of layer sequences, while for the Ta-Si-N barriers a variety of films with different chemical compositions are analysed.
Product Identifiers
Publisher
NOVA Science Publishers INC International Concepts
ISBN-13
9781604564518
eBay Product ID (ePID)
91858971
Product Key Features
Subject Area
Material Science
Publication Name
Advanced Ta-Based Diffusion Barriers for Cu Interconnects
Format
Paperback
Language
English
Publication Year
2009
Type
Textbook
Number of Pages
102 Pages
Dimensions
Item Height
155mm
Item Width
230mm
Item Weight
184g
Additional Product Features
Country/Region of Manufacture
United States
Objectbeschrijving van de verkoper
Informatie van zakelijke verkoper
Charlies Chapters Ltd
Charles Sword
81 Balmoral Drive
SOUTHPORT
Merseyside
PR9 8QH
United Kingdom
krddf
Btw-nummer:
- GB 920245361
Handelsregistratienummer:
- 06386895
Ik verklaar dat al mijn verkoopactiviteiten zullen voldoen aan alle wet- en regelgeving van de EU.
KVK-nummer:
- 06386895
De verkoper neemt de volledige verantwoordelijkheid voor deze aanbieding.
eBay-objectnummer:353262756909
Verzending en verwerking
Object wordt niet verzonden naar Verenigde Staten
Objectlocatie:
PR9 8QH Southport UK, Verenigd Koninkrijk
Wordt verzonden naar:
Europa
Uitgesloten:
Afghanistan, Bermuda, Bosnië en Herzegovina, Canada, Groenland, Isle of Man, Isle of Wight, Jemen, Kanaaleilanden, Libië, Mexico, Midden-Amerika en de Caraïben, Moldavië, Montenegro, Nauru, Noord-Amerika, Noord-Ierland, Noorwegen, Oekraïne, Russische Federatie, Saint Pierre en Miquelon, Schotse Hooglanden, Schotse eilanden, Scillyeilanden, Somalië, Zuid-Amerika
| Verwerkingstijd |
|---|
| Wordt doorgaans binnen 10 werkdagen na ontvangst van betaling verzonden. |
| Belasting |
|---|
| Er kunnen belastingen van toepassing zijn tijdens Betalen. Meer weten?Lees meer over het betalen van belastingen op eBay-aankopen. |
Btw voor objectnr.353262756909
Btw voor objectnr.353262756909
Verkoper berekent btw op objecten die naar de volgende staten worden verzonden:
| Staat/provincie | Btw-tarief |
|---|
Retourbeleid
| Nadat u het object hebt ontvangen, kunt u contact opnemen met de verkoper binnen | Kosten voor retourzending |
|---|---|
| 60 dagen | Koper betaalt voor retourzending |
De koper is verantwoordelijk voor de kosten van de retourzending.
| Details retourbeleid |
|---|
| Retourzendingen geaccepteerd |
Betalingsgegevens
Betalingsmethoden
Populaire rubrieken in deze winkel
Ingeschreven als zakelijke verkoper
Feedback verkoper (349.834)
7***7 (957)- Feedback gegeven door koper.
Afgelopen maand
Geverifieerde aankoop
Received with thanks
e***h (159)- Feedback gegeven door koper.
Afgelopen maand
Geverifieerde aankoop
Brilliant read, even though I’ve not finished it yet
k***t (1486)- Feedback gegeven door koper.
Afgelopen maand
Geverifieerde aankoop
Great!
Dit is een privé-aanbieding en uw identiteit wordt alleen bekendgemaakt aan de verkoper.